@misc{oai:niad.repo.nii.ac.jp:00000676,
 author = {楠山, 純平},
 month = {2018-09-18, 2018-09-18, 2018-09-18},
 note = {平成30年度},
 title = {大径ウエハのロータリ研削に関する研究},
 year = {}
}